导线的制造方法与结构

摘要

一种导线的制造方法，适用于降低导线之片电阻，此制造方法系先提供一材料层，于材料层上形成一导体层，于导体层上形成图案化之罩幕层。然后，以图案化之罩幕层为罩幕，移除部分导体层。接着，于图案化之罩幕层及其所覆盖之导体层的侧壁，形成一间隙壁。继之，以间隙壁与图案化之罩幕层为罩幕，移除部分导体层至暴露出材料层表面，以形成导线。