发明名称 保謢胶带切断方法及使用此种方法之装置
摘要 藉由第1温度控制手段来操作切割刀刃冷却手段,以调整喷吹于切割刀刃之冷却空气的温度、流量及电热器对切割刀刃的加热,一面将切割刀刃保持在常温以下一面将保护胶带切断。
申请公布号 TW200701359 申请公布日期 2007.01.01
申请号 TW095110630 申请日期 2006.03.28
申请人 日东电工股份有限公司 发明人 森则雄;山本雅之
分类号 H01L21/304(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本