分配器

摘要

一种配置用于分配一液体的装置，该装置包含有一腔室，以及一些流出口，该腔室具有一连接至一液体来源的流入口，可操作该液体来源以用于在压力装态下供应液体至该腔室，该液体系通过该流出口而释放至一基板，可在该装置下方提供该基板，以便接收该液体，每个流出口系个别经由分离通道而与该腔室进行传递，该分离通道可个别连接至该腔室顶部。