检验相移式光罩之相移角的方法、微影制程与相移式光罩

摘要

一种检验相移式光罩之相移角的方法。首先，取得一类型之相移式光罩的相移角对应一制程能力特征值的校正曲线。接着，将待检验之该类型相移式光罩的图案转移至一光阻层上以形成光阻图案，并测量上述制程能力特征值。然后依照上述校正曲线，由该制程能力特征值推得该相移式光罩的实际相移角，以供检验。