缺陷检测元件及其检测方法

摘要

一种缺陷检测元件的检测方法，包括：(a)于晶圆上形成多数个缺陷检测元件，其中各缺陷检测元件系由下层之绝缘层与上层之导电层堆叠而成。(b)设定一缺陷检测参数，并且利用电子束(e–beam)扫瞄晶圆，以得到多数个缺陷讯号。(c)确认缺陷讯号的数目是否至少等于缺陷检测元件的数目。若缺陷讯号的数目小于缺陷检测元件的数目，则重新调整缺陷检测参数，并重复步骤(b)～(c)，直到缺陷讯号的数目至少等于缺陷检测元件的数目为止。