气密阀之密合结构

摘要

本发明系有关于一气密阀之密合结构，装设于溅镀机上，用于做为各腔室间之区隔，包含有：一转轴，穿设于溅镀机腔室阀口之一侧。二支臂，以一端固设于该转轴上，可随该转轴的转动而摆动。一阀门板，枢设于二支臂，并可做一预定角度的偏摆。二弹性件，分别设于二支臂及阀门板之间。