| 摘要 |
一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10)，包含：一结构(16、22、24)，被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制，用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气；一热源(82)，被设置来加热用于此种挥发的固体源材料；以及，一蒸气配送总成(52、54)，被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510)，其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀，而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512)，其中入口通道与出口通道实质上彼此垂直，该等通道之内部极端处系与阀室(1536)连通，而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀元件。经由使用此种高传导阀，可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(Cv)值，允许阀即使于极低压力程序例如低于20托耳压力下，仍可达成优异的配送操作。 |
