随机脉冲式直流电源供应器

摘要

本发明揭示一种电源供应器，其系用于一具有一标的物及一基材支撑件的物理气相沉积室，该电源供应器包含一电源，该电源系配置以用一相对于基材支撑件之溅射电压偏压该标的物，且配置以当在该物理气相沉积室中侦测到一电弧后，以约一秒之期间约10或更多次之反转电压来偏压该标的物。