深沟渠之制备方法

摘要

本发明之深沟渠的制备方法包含形成至少一沟渠于一基板中、形成一含氮层于该沟渠之内壁、形成复数个覆盖该含氮层之局部表面的晶粒、形成一含磷氧化层于该含氮层之表面以及将该含磷氧化层转化为一蚀刻液以去除未被该晶粒覆盖之含氮层。该含氮层可为一氮化矽层，而该含磷氧化层可为一硼磷矽玻璃层或一磷矽玻璃层。将该含磷氧化层转化为一蚀刻液之方法可将该基板放置于水蒸气环境中，该含磷氧化层将与水蒸气反应生成磷酸，其可蚀刻该含氮层。