光学头及具有该光学头之光学蚀刻装置

摘要

一种光学头及具有该光学头之光学蚀刻装置，系包括一透光基层、一不透光薄膜及一表面次波长结构，其中该不透光薄膜具有复数个次波长孔径通道，藉由一外加电磁场之入射光通过透光基层吸收光源，再经由该不透光薄膜中的次波长孔径通道，配合该次波长表面结构，以控制每道出射光的行进角度，使得所有出射光束互相干涉后得到次波长尺寸的光点大小及数目，并利用各该次波长孔径通道之间距决定干涉光束的焦距及工作距离。