发明名称 像素电极、其形成方法、光电装置及电子机器
摘要 本发明提供一种像素电极与其形成方法、及具备该像素电极之光电装置与电子机器;其系可对像素电极实施微细之图案化,且可防止因气体或水分之影响所导致之特性变化及穿透率下降者。本发明包含以下步骤:于基板P上形成岸堤B4者;以液滴喷出法于藉由岸堤B4予以划分之区域配置含有透明导电性微粒子之第1功能液者;乾燥处理前述第1功能液而形成第1层膜19c者;以液滴喷出法于前述第1层膜19c上配置含有矽化物之第2功能液者;统括烧结前述第1层膜19c及第2功能液,形成包含前述第1层膜19c及填埋该第1层膜19c的空孔之矽氧化物之透明导电层19a,并于该透明导电层上形成矽氧化物层19b,以形成由该透明导电层19a与矽氧化物层19b叠层而成之像素电极19者。
申请公布号 TW200701331 申请公布日期 2007.01.01
申请号 TW095118359 申请日期 2006.05.24
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 传田敦
分类号 H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本