发明名称 具有测试区之基板及用于该基板之测试治具
摘要 本发明系关于一种具有测试区之基板及用于该基板之测试治具。该基板包括:复数个线路板及复数个测试孔。该等线路板系依序上下相邻设置,每一线路板具有一测试区。该等测试孔设置于该测试区,用以贯穿该线路板,并电性连接上下相邻之线路板。由于在测试区之制程条件完全与晶片区相同,本发明之基板在测试区将复数个测试孔电性连接,可使正常之测试孔与具有裂缝之测试孔其电阻之差异加大,以利量测,以判断该基板之良否。另外,本发明之该测试治具利用复数个第一测试探针及第二测试探针可同时量测该基板之晶片区及测试区之电气特性,以简化测试流程。
申请公布号 TWI269883 申请公布日期 2007.01.01
申请号 TW094127759 申请日期 2005.08.15
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 张志忠
分类号 G01R31/28(2006.01) 主分类号 G01R31/28(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种具有测试区之基板,包括: 复数个线路板,系依序上下相邻设置,具有至少一 第一线路板及一第二线路板,每一线路板系具有一 线路层、一介电层及一测试区; 复数个测试孔,系设置于该测试区,并贯穿该等线 路板之该等介电层,且电性连接上下相邻之该等线 路板之该等线路层;及 一第一表面,设置于该第一线路板,该第一表面系 具有一晶片区,其具有复数个连接垫,用以与一晶 片电性连接,该第一表面之该测试区具有至少一第 一测试垫,该第一测试垫与该等测试孔电性连接, 该第一测试垫用以供一测试器测试。 2.如请求项1之基板,其中该基板另包括一第二表面 ,设置于该第二线路板,该第二表面之该测试区具 有至少一第二测试垫,该第二测试垫与该等测试孔 电性连接,并与该第一测试垫电性连接,该第一测 试垫及该第二测试垫用以供该测试器之二测试探 针电性连接测试。 3.如请求项2之基板,其中该第一测试垫及该第二测 试垫之宽度大于该测试探针之宽度。 4.如请求项3之基板,其中该测试探针系为四线式探 针。 5.如请求项3之基板,其中该测试探针系为二线式探 针。 6.如请求项1之基板,其中该第一表面之该测试区具 有二第一测试垫,二第一测试垫与该等测试孔电性 连接,用以供该测试器之二测试探针电性连接测试 。 7.一种具有测试区之基板,包括: 复数个线路板,系依序上下相邻设置,具有至少一 第一线路板及一第二线路板,每一线路板系具有一 线路层、一介电层及一测试区; 复数个测试孔,系设置于该测试区,并贯穿该等线 路板之该等介电层,且电性连接上下相邻之该等线 路板之该等线路层; 一第一表面,设置于该第一线路板,该第一表面具 有一晶片区,该晶片区具有复数个连接垫,用以与 一晶片电性连接;及 一第二表面,设置于该第二线路板,该第二表面之 该测试区具有至少一第二测试垫,该第二测试垫与 该等测试孔电性连接,该第二测试垫用以供一测试 器测试。 8.如请求项7之基板,其中该第二表面之该测试区具 有二第二测试垫,二第二测试垫与该等测试孔电性 连接,用以供该测试器之二测试探针电性连接测试 。 9.如请求项8之基板,其中该第二测试垫之宽度大于 该测试探针之宽度。 10.如请求项9之基板,其中该测试探针系为四线式 探针。 11.如请求项9之基板,其中该测试探针系为二线式 探针。 12.一种测试治具,用于一基板,该基板具有一晶片 区及一测试区,该晶片区具有复数个连接垫,该测 试区具有复数个测试垫,该测试治具包括: 复数个第一测试探针,系相对于该晶片区之该等连 接垫,用以与该晶片区之该等连接垫电性连接;及 复数个第二测试探针,系相对于该测试区之该等测 试垫,用以与该测试区之该等测试垫电性连接。 13.如请求项12之测试治具,其中该第一测试探针系 为二线式探针。 14.如请求项12之测试治具,其中该第二测试探针系 为四线式探针。 图式简单说明: 图1为习知之基板结构示意图; 图2为本发明具测试区之基板之上视示意图; 图3为本发明第一实施例具测试区基板之侧视示意 图; 图4为本发明第二实施例具测试区基板之侧视示意 图;及 图5为本发明第三实施例具测试区基板之侧视示意 图。
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