| 主权项 |
1.一种基板输送装置,系用以输送一基板,该基板输 送装置包含有: 一基座; 一上浮机构,系包含一空压机以及一垫板供承载该 基板,该垫板系设于该基座且包含有多数气孔,该 等气孔系连通于该空压机; 二移动座,系滑设于该基座且分别位于该垫板两侧 ; 多数导轮,系枢设于该二移动座; 一升降件,系连结该基座与该移动座;以及 一运送框,系套设该基板且横跨该垫板,该运送框 并以其两端承载于该等导轮。 2.如专利申请范围第1项所述之基板输送装置,其中 该升降件系为气压缸、油压缸或线性马达。 3.如专利申请范围第1项所述之基板输送装置,系更 包含有一动力源设于该基座,以及一传动机构设于 该动力源与该等导轮之间,藉此,该动力源可透过 该等传动机构驱动该等导轮。 4.如专利申请范围第3项所述之基板输送装置,其中 该等导轮系分别藉一枢轴设于该移动座,该传动机 构包含有一第一齿轮与该动力源连接,一第二齿轮 与该第一齿轮啮合,一传动杆藉一槽轴与该第二齿 轮连接,一第三齿轮设于该传动杆一端,一齿杆可 旋转地设于该移动座且与该第三齿轮啮合,以及一 第四齿轮设于该枢轴且与该齿杆啮合,该传动杆并 以可旋转之方式设于该移动座。 图式简单说明: 第一图系本发明一较佳实施例之顶视图; 第二图系本发明一较佳实施例之剖视图; 第三图系本发明一较佳实施例之剖视图,且系主要 显示该传动机构; 第四图系略同于第二图,但系显示该移动座上升之 状态。 |
