| 主权项 |
1.一种微元件之散热模组,主要系于一微元件上设 有一散热系统,使微元件进行相变化散热,该散热 系统包括: 一微温度感测器,系可感应微元件之微热点区域的 温度; 一液体滴定器,系将液体均匀喷洒于微元件之微热 点区域上; 一液体膜检测系统,系可检测微元件之微热点区域 上的液体膜; 藉由散热系统当微元件之微热点区域温度达到散 热程度,液体滴定器可喷出液体进行散热,使液体 藉由汽化蒸发作用带走微热点区域内之热能,并由 液体膜检测系统检测液体膜是否被汽化,如被汽化 则响应至液体滴定器喷出液体,进行下一冷却循环 。 2.如申请专利范围第1项所述之微元件之散热模组, 该散热系统进一步包括有一抽风系统,该抽风系统 系可调整微元件之微热点区域的环境湿度,维持腔 体内空气湿度之均匀性。 3.如申请专利范围第1项所述之微元件之彻热模组, 其中该液体滴定器具有一喷嘴以将液体均匀喷洒 于微元件之微热点区域上。 4.一种微元件之散热方法,系于一微元件表面建立 一微热点区域,由微温度感测器检测该微热点区域 之温度,当微热点区域达到散热范围之温度,即由 液体滴定器于微元件表面上供给液体进行相变化 散热,并由液体膜检测系统监侧微热点区域液体的 薄膜状态,如液体膜未完全被汽化,则依据所量测 之温度,延迟液体供给时间,若微热点区域上无液 体膜残留,则再次供给液体,此外,由抽风系统保持 微热点区域内之空气湿度均匀性,避免空气之湿度 达到饱和状态,提高散热效果。 图式简单说明: 第一图系本发明微元件散热模组之结构示意图。 第二图系本发明微元件散热模组之散热流程。 |
