| 主权项 |
1.一种高温高压晶片贴合机,此机台包括有: 一上压头,能使表面产生均匀的高温状态; 一下压头,能使表面产生均匀的高温状态; 一加压设备,设置于前述机台的顶部,提供前述上 压头下降时所须的输出力,其设有一可伸长缩回的 活塞柱,该活塞柱底缘设有一自动调心机构与上压 头相结合,其末端设有一施压端延伸至自动调心机 构内部; 一自动调心机构,是由吊挂件、数导杆、弹性件及 钢珠所构成,该吊挂件设置于前述活塞柱底缘,该 数导杆结合上压头顶部并将之悬吊于吊挂件处,但 上压头乃可小角度偏转及移动,前述该活塞柱之施 压端底部设有内凹的圆弧面,并配合钢珠的弧度, 而该钢珠设置于下压头的顶部处,弹性件则设置于 吊挂件与下压头之间。 2.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该高温状态为250-1000℃。 3.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该输出力范围为500-15000Kg。 4.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该下压头包结构括有一加热层与一冷座。 5.如申请专利范围第4项所述之高温高压贴合机,其 中该加热层为导热性佳的石墨材质,内部横向设有 数贯穿孔,每一孔内设有一石英套管,石英套管为 透明绝缘材质,管内设有呈螺旋状缠绕的加热线圈 。 6.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该上压头包括一加热压层与一冷座。 7.如申请专利范围第6项所述之高温高压贴合机,其 中该加热层为导热性佳的石墨材质,内部横向设有 数贯穿孔,每一孔内设有一石英套管,石英套管为 透明绝缘材质,管内设有呈螺旋状缠绕的加热线圈 。 8.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该加压设备为一油压缸。 9.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机,其 中该吊挂件设有数贯穿孔使该数导杆吊挂于该处, 该导杆与贯穿孔之间存在有空隙,使上压头得小角 度偏移及移动。 10.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机, 其中该弹性件套置于施压端外围,于吊挂件与下压 头之间。 11.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机, 其中该弹性件为一弹簧。 12.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机, 其中该钢珠设置于下压头的顶部处,能自由转动。 13.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机, 其中该钢珠设置于下压头的顶部处,并于吊挂件与 下压头之间之弹性件的内部区域。 14.如申请专利范围第1项所述之高温高压贴合机, 其中该机台设有一真空室,前述上压头、下压头及 自动调心机构皆设置于内。 15.一种高温高压晶片贴合机,此机台包括有: 一上压头,能使表面产生均匀的高温状态; 一下压头,能使表面产生均匀的高温状态; 一加压设备,设置于前述机台的顶部,提供前述上 压头下降时所须的输出力,其设有一可伸长缩回的 活塞柱,该活塞柱底缘设有一自动调心机构与上压 头相结合,其末端设有一施压端延伸至自动调心机 构内部; 一自动调心机构,是由吊挂件、数导杆、弹性件及 半圆球面所构成,该吊挂件设置于前述活塞柱底缘 ,该数导杆结合上压头顶部并将之悬吊于吊挂件处 ,但上压头乃可小角度偏转及移动,前述该活塞柱 之施压端底部设有内凹的圆弧面,并配合半圆球面 的弧度,而该半圆球面设置于下压头的顶部处,弹 性件则设置于吊挂件与下压头之间。 图式简单说明: 第一图为本创作之结构简单之示意图。 第二图为本创作主要构件之剖面示意图。 第三图为本创作加压头施压状态的结构示意图。 第四图为本创作主要结构之另一实施例的剖面示 意图。 第五A图为本创作之加热层的横向剖面示意图; 第五B图为本创作之加热层的纵向剖面示意图。 |
