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发明名称
感光性组成物及黑色矩阵
摘要
本发明之课题,系能够容易地形成一种直线性高,无剥离或残留现象之良好黑色矩阵图案。本发明之解决手段,系包括含有如式(1)所示光聚合引发剂化合物,以及含有氮原子的杂环,在该杂环上结合有氢硫基化合物所形成之感光性组成物。藉由含有该等化合物,感光性组成物对光线的敏感度变高,图案的显影余裕度变大。因此,即使该感光性组含有遮光材料,亦能够容易地形成直线性良好,无剥离或残留现象之良好的图案.
申请公布号
TW200700903
申请公布日期
2007.01.01
申请号
TW095117923
申请日期
2006.05.19
申请人
东京应化工业股份有限公司
发明人
信太胜;近藤满;内河喜代司
分类号
G03F7/004(2006.01);G03F7/031(2006.01);G02B5/23(2006.01)
主分类号
G03F7/004(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
日本
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