玻璃基板之研磨方法

摘要

本发明提供一种研磨玻璃基板之方法，其可用来将具有经由机械研磨形成的大波纹(waviness)之玻璃基板研磨成为具有优异平坦度的表面。一种研磨玻璃基板之方法，其包括下列步骤：测量机械研磨过的玻璃基板的表面轮廓以监定出该玻璃基板中所含波纹宽度，以及施以利用一束的乾式蚀刻来研磨该玻璃基板表面，其中该束的FWHM(半高全宽)值束尺寸至多为上述波纹尺寸。