| 摘要 |
一种含有含氟化合物的气体的处理设备，包含：一适于接收一含有含氟化合物的气体的触媒反应器，其内具有触媒，该触媒在水气或水气及氧的存在下，将该气体中的含氟化合物分解成一含有氟化氢的第一处理气体产物；一用于加热欲被导入该触媒反应器的气体／或该触媒反应器的触媒；一内含用于吸着氟化氢的固态吸着剂(sorbent)之吸着装置，其接收该第一处理气体产物，于是该第一处理气体产物接触该吸着剂而形成一实质上不含有氟化氢的第二处理气体产物。由于第二处理气体产物不含有强腐蚀性氟化氢，于是本发明可使用一热交换器使其加热该含有含氟化合物的气体，而回收该第二处理气体产物的热。 |
