超纯水中之微粒子数量测定方法、微粒子数量测定用过滤装置、其制造方法及使用于该装置之中空丝膜单元

摘要

本发明之超纯水中之微粒子数量测定方法，系包含：以至少于内表面具备有能够捕捉超纯水中之微粒子的表皮层的中空丝膜将超纯水予以内压过滤之步骤、使上述中空丝膜的内表面露出之步骤、以及测量上述露出后之内表面的微粒子数量之步骤为特征。