半导体单晶制造装置

摘要

此半导体单晶制造装置系具有：坩锅；和加热器；和坩锅驱动手段；和腔室，收容前述坩锅及加热器；和氢混合气体供给装置，将含有氢原子之含氢气体及非活性气体所混合而成之氢混合气体，供给至前述腔室内：并且，前述氢混合气体供给装置具备：含氢气体供给机：和非活性气体供给机；和含氢气体流量控制器；和非活性气机流量控制器；和气体混合手段，将含氢气体与非活性气体加以均匀混合而产生氢混合气体。