发明名称 移除导电材料之化合物及使用该化合物制造阵列基板之方法
摘要 一种移除导电材料之化合物及使用此化合物制造阵列基板之方法,其中化合物包含3wt%至15wt%的硝酸、40wt%至70wt%的磷酸、5wt%至35wt%的醋酸、0.05wt%至5wt%的氯化合物、0.01wt%至5wt%的氯稳定剂、0.01wt%至5wt%的pH稳定剂及其余质量为水。
申请公布号 TW200701356 申请公布日期 2007.01.01
申请号 TW095121286 申请日期 2006.06.14
申请人 LG飞利浦股份有限公司;东进世美肯股份有限公司 发明人 宋桂灿;金锺一;李垌默;曹三永;申贤哲;金南緖
分类号 H01L21/302(2006.01);G02F1/13(2006.01);C03C15/00(2006.01) 主分类号 H01L21/302(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 韩国