发明名称 |
移除导电材料之化合物及使用该化合物制造阵列基板之方法 |
摘要 |
一种移除导电材料之化合物及使用此化合物制造阵列基板之方法,其中化合物包含3wt%至15wt%的硝酸、40wt%至70wt%的磷酸、5wt%至35wt%的醋酸、0.05wt%至5wt%的氯化合物、0.01wt%至5wt%的氯稳定剂、0.01wt%至5wt%的pH稳定剂及其余质量为水。 |
申请公布号 |
TW200701356 |
申请公布日期 |
2007.01.01 |
申请号 |
TW095121286 |
申请日期 |
2006.06.14 |
申请人 |
LG飞利浦股份有限公司;东进世美肯股份有限公司 |
发明人 |
宋桂灿;金锺一;李垌默;曹三永;申贤哲;金南緖 |
分类号 |
H01L21/302(2006.01);G02F1/13(2006.01);C03C15/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/302(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
许世正 |
主权项 |
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地址 |
韩国 |