| 主权项 |
1.一种微流体驱动装置之制造方法,其步骤包含: (A)于一下基板上建构一开放性之流体通道; (B)于一上基板底面形成一圆弧连续弯曲状之气体 通道;及 (C)将一驱动膜盖覆于该下基板顶面以封闭微流体 通道,并将该上基板结合于下基板上。 2.依据申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置 之制造方法,更包含一步骤(D),于该上基板之气体 通道的一端分别形成供压缩气体进出之一气体进 出孔,并于该上基板上分别对应于该流体通道两相 对端处钻孔,形成一供流体进入之进流孔,及一供 流体流出之出流孔。 3.依据申请专利范围第2项所述之微流体驱动装置 之制造方法,其中于步骤(B)是先于一水平基板上制 作向上条状凸出且呈圆弧之连续弯曲的一管道公 模,再以高分子材质浇灌至该管道公模上,经固化 脱膜形成一底面上形成气体通道之上基板。 4.依据申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(A)中,该下基板之材质选自于 玻璃、石英及矽所组成之群体,而是以光学显影技 术及湿式蚀刻方式蚀刻出开放性的流体通道。 5.依据申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(A)中,该下基板是以高分子材 质制成,而是以热压印方式下基板上压制出该流体 通道。 6.依据申请专利范围第1项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(A)中,该下基板是以高分子材 质制成,而是以射出成型方式于下基板上压制出该 流体通道。 7.依据申请专利范围第5项或第6项所述之微流体驱 动装置之制造方法,其中组成下基板之高分子材料 选自压克力、聚碳酸酯、聚苯乙烯、工程塑胶、 聚二甲矽氧烷与其他聚合塑胶所组成之群体。 8.依据申请专利范围第3项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(B)中,是以光学显影与蚀刻方 式制作向上凸出之管道公模。 9.依据申请专利范围第3项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(B)中,是以电铸方式制作向上 凸出之管道公模。 10.依据申请专利范围第3项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(B)中,制作该管道公模后,就于 其一端形成一直立之凸柱,并于步骤(C)中灌上高分 子材质后脱模,即形成该气体进出孔贯穿上基板。 11.依据申请专利范围第3项所述之微流体驱动装置 之制造方法,于步骤(C)中,灌上高分子材质之上基 板脱模后,微细钻头钻孔于气体通道的一端钻出贯 穿上基板之气体进出孔。 12.一种微流体驱动装置,配合一可调整脉冲频率之 脉冲式气压源以驱动微流体流动,包含: 一水平之下基板; 一流体通道,形成于该下基板顶面,具有一供微流 体流入之一进流孔,及一供微流体流出之出流孔; 一驱动膜,盖覆于该流体通道上; 一上基板,盖覆于驱动膜上方;及 一气体通道,呈连续圆弧弯曲状地形成于该上基板 之底面,并与流体通道间形成复数间隔之交会处, 气体通道具有一形成于其一端并连接至所述脉冲 式气压源的气体进出孔; 藉此,所述脉冲气压源注入气体通道内,并依序压 迫该等交会处之驱动膜向下压抵流体通道内之微 流体往出流孔方向流动。 13.依据申请专利范围第12项所述之微流体驱动装 置,其中,该气体通道之气体进出孔是贯穿该上基 板以连通至所述脉冲气压源。 14.依据申请专利范围第12项所述之微流体驱动装 置,其中,该下基板之材质选自于玻璃、石英、矽 、压克力、聚碳酸酯、聚苯乙烯、工程塑胶、聚 二甲矽氧烷与其他聚合塑胶所组成之群体。 图式简单说明: 图1是本发明微流体驱动装置之制造方法的较佳实 施例中步骤(A)的示意图,说明于一下基板上成型一 流体通道; 图2是该较佳实施例中步骤(B)的示意图,说明于一 基板上成型一管道公模; 图3是该较佳实施例中步骤(B)的示意图,说明由该 基板上灌模及脱模成型一上基板及一气体通道; 图4是本发明微流体驱动装置之较佳实施例之立体 分解图; 图5是该较佳实施例之俯视图; 图6是该较佳实施例之侧面剖视图; 图7是该较佳实施例之一流体通道内微流体被驱动 之照片;及 图8是该较佳实施例之驱动微流体流量与一脉冲式 气压源之脉冲频率的曲线图,并说明该流体通道与 一气体通道交会处数目不同时,微流体流量与脉冲 频率之关系。 |
