| 主权项 |
1.一种晶圆生产设备之备份方法,其中该晶圆生产 设备系包含有一控制系统及一工作硬碟,然后利用 将复数个备份硬碟与该控制系统连接,使该控制系 统运作时不但能于该工作硬碟中读写参数资料,而 且并能自动依预定之时间设定而将参数资料同时 依序写入各个备份硬碟之中。 2.如申请专利范围第1项所述晶圆生产设备之备份 方法,系可藉由该控制系统中之程式设定及控制依 预定日期依序将参数资料分别备份至该复数颗备 份硬碟之中。 3.如申请专利范围第1项所述晶圆生产设备之备份 方法,其中该控制系统与复数备份硬碟系以区域网 路连接。 4.如申请专利范围第1项所述晶圆生产设备之备份 方法,其中该控制系统与复数备份硬碟系以网际网 路连接。 5.如申请专利范围第1项所述晶圆生产设备之备份 方法,其中该控制系统与复数备份硬碟间系设有一 自动备份控制单元,该自动备份控制单元系可供设 定及控制,自动依预定日期依序将参数资料分别备 份至该复数颗备份硬碟之中。 6.如申请专利范围第1项所述晶圆生产设备之备份 方法,其中该复数备份硬碟系设于一硬碟柜中,而 该硬碟柜系与该控制系统连接。 7.如申请专利范围第5项所述晶圆生产设备之备份 方法,其中该自动备份控制单元及复数备份硬碟系 设于一硬碟柜中,而该硬碟柜系与该控制系统连接 。 图式简单说明: 第一图,系本发明第一较佳实施例之系统方块图。 第二图,系本发明第二较佳实施例之系统方块图。 第三图,系本发明第三较佳实施例之系统方块图。 |
