| 主权项 |
1.一种微透镜模具之制造方法,包括下列步骤: 形成一厚膜于一基板; 图案化该厚膜,以形成一微细管; 将一热固化胶液填入该微细管内;及 固化成形该热固化胶液。 2.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中形成该厚膜以及图案化该厚膜之步骤系 利用一深刻模造技术(LIGA)或一类深刻模造技术( LIGA-like)。 3.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中将该热固化胶液填入该微细管之步骤, 更包含: 将该热固化胶液滴于该微细管表面;及 以抽真空方式,使该热固化胶液被吸入该微细管内 。 4.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中将该热固化胶液填入该微细管之步骤与 固化成形之步骤之间更包含一旋转该基板之步骤 。 5.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中固化成形该热固化胶液之步骤系利用一 光源照射或加热方法。 6.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该厚膜为一具有光学性质之高分子材料 。 7.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该厚膜为一光阻。 8.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该基板为一矽基板。 9.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该微细管为六角形。 10.如申请专利范围第1项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该热固化胶液为一具有光学性质之可固 化高分子流动材料。 11.如申请专利范围第5项所述之微透镜模具之制造 方法,其中该光源为一紫外光源。 12.如申请专利范围第4项所述之微透镜模具之制造 方法,其中,可任意改变旋开固化胶之转速与固化 胶之黏滞系数。 13.一种凹微透镜之制造方法,包括下列步骤: 形成一厚膜于一基板; 图案化该厚膜,以形成一微细管; 将一热固化胶液填入该微细管内; 固化成形该热固化胶液;及 将该厚膜自该基板脱离以作为一凹微透镜。 14.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中形成该厚膜以及图案化该厚膜之步骤系 利用一深刻模造技术(LIGA)或一类深刻模造技术( LIGA-like)。 15.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中将该热固化胶液填入该微细管之步骤, 更包含: 将该热固化胶液滴于该微细管表面;及 以抽真空方式,使该热固化胶液被吸入该微细管内 。 16.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中将该热固化胶液填入该微细管之步骤与 固化成形之步骤之间更包含一旋转该基板之步骤 。 17.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中固化成形该热固化胶液之步骤系利用一 光源照射或加热方法。 18.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该厚膜为一具有光学性质之高分子材料 。 19.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该厚膜为一光阻。 20.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该基板为一矽基板。 21.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该微细管为六角形。 22.如申请专利范围第13项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该热固化胶液为一具有光学性质之可固 化高分子流动材料。 23.如申请专利范围第17项所述之凹微透镜之制造 方法,其中该光源为一紫外光源。 图式简单说明: 第1A图为利用LIGA-like之厚膜光阻制程搭配应用紫 外光固化胶(UV-curing)之技术所制出之凹型微模具 。 第1B图为利用第1A图之凹型微模具所制出之凸形微 透镜(微透镜阵列)产品。 第1C图为欲直接作为凹形微透镜(微透镜阵列)产品 使用,第1A图中脱离基板之凹型微模具。 第2A图至第2G图,显示根据本发明,一种凹型微透镜 模具之制作方法。 第3图,为根据本发明,一种凹型微透镜模具之制作 方法流程图。 第4图为附件一中之透镜2D之高度轮廓趋势图。 |
