| 发明名称 |
METHODS OF FORMING ALPHA AND BETA TANTALUM FILMS WITH CONTROLLED AND NEW MICROSTRUCTURES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IL178252(D0) |
申请公布日期 |
2006.12.31 |
| 申请号 |
IL20060178252 |
申请日期 |
2006.09.21 |
| 申请人 |
H.C. STARCK INC.;NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY |
发明人 |
|
| 分类号 |
B81C;B81C1/00;C23C14/16;C23C14/54;C23C16/06;C30B23/00;C30B25/00 |
主分类号 |
B81C |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
