| 摘要 |
La présente invention se rapporte principalement à :- un actionneur électrostatique,- au moins une électrode fixe (2) par rapport à un substrat (4),- au moins une électrode souple (6) disposée en regard du substrat,- au moins un moyen formant pivot de l'électrode souple, ledit moyen étant solidaire de l'électrode souple sur sa face orientée vers l'électrode fixe (2) et réalisé en un matériau conducteur,- au moins un moyen de suspension (11) de l'électrode souple, maintenant au repos ladite électrode souple à distance du substrat (4).La présente invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un tel actionneur.
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