发明名称 A material for use in a mems device, a method of making the material and a mems device including thematerial
摘要
申请公布号 SG127780(A1) 申请公布日期 2006.12.29
申请号 SG20050004055 申请日期 2005.06.24
申请人 SONY CORPORATION 发明人 BENG NG WEI;TAKADA AKIO;OKADA KANZO
分类号 B81B7/02;H01L29/43 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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