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发明名称
A material for use in a mems device, a method of making the material and a mems device including thematerial
摘要
申请公布号
SG127780(A1)
申请公布日期
2006.12.29
申请号
SG20050004055
申请日期
2005.06.24
申请人
SONY CORPORATION
发明人
BENG NG WEI;TAKADA AKIO;OKADA KANZO
分类号
B81B7/02;H01L29/43
主分类号
B81B7/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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