Cluster type asher equipment used for manufacture of semiconductor device,申请号SG20030001143-传众专利搜索

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发明名称	Cluster type asher equipment used for manufacture of semiconductor device
摘要
申请公布号	SG127690(A1)	申请公布日期	2006.12.29
申请号	SG20030001143	申请日期	2003.03.05
申请人	PSK INC.	发明人	PARK KYOUNG-SOO
分类号	H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/677	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
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