| 发明名称 |
A device and a method for automatically inspectingthe surface quality of a wafer by measuring bondi ng speed |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG127692(A1) |
申请公布日期 |
2006.12.29 |
| 申请号 |
SG20030002469 |
申请日期 |
2003.04.25 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
MALEVILLE CHRISTOPHE;METRAL FREDERIC |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/30;H01L21/02;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
