| 发明名称 |
Faraday-Anordnung als Ionenstrahlmessvorrichtung für eine Ionenimplantationsanlage und Verfahren zu deren Betrieb |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10329388(B4) |
申请公布日期 |
2006.12.28 |
| 申请号 |
DE20031029388 |
申请日期 |
2003.06.30 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
KRUEGER, CHRISTIAN |
| 分类号 |
H01J37/317;G01T1/29;H01J37/244;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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