发明名称 Trench-MIS-Bauteil mit einem implantierten Drain-Drift-Bereich und einem dicken Bodenoxid und Verfahren zur Herstellung desselben
摘要
申请公布号 DE10393853(T5) 申请公布日期 2006.12.28
申请号 DE20031093853T 申请日期 2003.12.15
申请人 SILICONIX INC. 发明人 DARWISH, MOHAMED N.;TERRILL, KYLE W.;QI, JAINHAI
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/423 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址