Verfahren zum Testen eines Wafers, insbesondere Hall-Magnetfeld-Sensors und Wafer bzw. Hallsensor

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Testen eines Wafers, bei dem in dem Wafer (W) ein Stromfluss erzeugt und ein resultierender physikalischer Parameter gemesser wird. Vorteilhaft wird das Verfahren dadurch, dass als der physikalische Parameter ein elektrischer Widerstand (R) gemessen wird. Vorteilhaft sind entsprechend eine Anordnung auf einem Wafer bzw. ein Hall-Magnetfeld-Sensor, welche das Messen eines solchen Widerstands ermöglichen. Vorteilhaft ist auch eine Überprüfung des weiteren Signalpfades durch Erzeugung eines Signals, wie es auch von einem Magnetfeld erzeugt werden würde.