| 发明名称 |
Defekterkennung mit Verwendung von Grauwertsignaturen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60026774(T2) |
申请公布日期 |
2006.12.28 |
| 申请号 |
DE20006026774T |
申请日期 |
2000.11.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
GORDON, NAAMA;GREENBERG, GADI |
| 分类号 |
G01N21/956;G06T7/00;G03F1/08;H01L21/027 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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