Catadioptrisches System und dieses verwendender Belichtungsapparat,申请号DE19996033973-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Catadioptrisches System und dieses verwendender Belichtungsapparat
摘要
申请公布号	DE69933973(D1)	申请公布日期	2006.12.28
申请号	DE19996033973	申请日期	1999.07.01
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	SCHAFER, DAVID R.;BEIERL, HELMUT;FUERTER, GERHARD;SCHUSTER, KARL-HEINZ;ULRICH, WILHELM
分类号	G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G02B17/08
代理机构		代理人
主权项
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