PRESSURE SENSOR

摘要

Ein Drucksensor weist eine Vielzahl von im Wesentlichen parallel zu einer Kraft- oder Druckaufnahmerichtung angeordnete, piezoelektrische Wandlerelemente auf. Diese können als Fasern, Stäbchen, Platten oder dergleichen sowie auch als Dick- oder Dünn­schicht ausgebildet sein. Bei Wandlerelementen als Fasern, Stäbchen oder Platten sind diese mittels eines Isoliermaterials voneinander beabstandet angeordnet und/oder zu­mindest teilweise in diesem eingebettet. Um einen solchen Drucksensor dahingehend zu verbessern, dass dieser auch für hohe Drücke, für eine lange Lebensdauer und für verschiedene mechanische Anwendungen einsetzbar ist, ist wenigstens einer Anzahl der piezoelektrischen Wandlerelemente ein Abstützmaterial mit insbesondere in Kraft- oder Druckaufnahmerichtung im Vergleich zu den Wandlerelementen höheren mechanischen Steifigkeit zugeordnet, beziehungsweise wird das piezoelektrische Wandlerelement als Schicht auf einen Stützkörper aus diesem Abstützmaterial aufgebracht und elektrisch beispielsweise durch eine zwischen Wand­lerelementschicht und Stützkörper angeordnete Unterelektrode und eine auf einer Au­ßenseite der Wandlerelementschicht aufgebrachte Deckelektrode kontaktiert.