Technik zur Reduzierung der Siliziumungleichförmigkeiten durch Anpassen eines vertikalen Dotierprofiles

摘要

Durch Modifizieren der vertikalen Dotierstoffkonzentration in tiefen Drain- und Sourcegebieten kann das Reaktionsverhalten während der Ausbildung von Metallsilizidgebieten gesteuert werden. Zu diesem Zweck wird ein erhöhte Dotierstoffkonzentration um eine Solltiefe herum für die Metallsilizidgrenzfläche gebildet, wodurch die Reaktionsgeschwindigkeiten reduziert und damit die Gleichförmigkeit der resultierenden Metallsilizidgrenzfläche verbessert wird.