发明名称 Schichtstruktur mit Kontaktöffnung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE69133534(T2) 申请公布日期 2006.12.28
申请号 DE1991633534T 申请日期 1991.03.06
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 EMA, TAIJI
分类号 H01L21/033;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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