| 发明名称 | 上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有温度控制性优异的冷却结构的上部电极。上部电极(11)具有：与基座(4)平行对向配置的电极板(13)；与该电极板(13)的上部连接配置，在内部形成有传热介质流路(15)的温度调节板(14)；和与电极板(13)的周边部连接配置，在内部具有传热介质流路(16)的温度调节块体(17)。温度调节板(14)通过与电极板(13)的上部连接配置，可在与电极板(13)之间进行热交换，将在传热介质流路(15)中流动的制冷剂的冷热供给电极板(13)而进行冷却。 | ||
| 申请公布号 | CN1885488A | 申请公布日期 | 2006.12.27 |
| 申请号 | CN200610093088.1 | 申请日期 | 2006.06.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田中善嗣;南雅人 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/20(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/67(2006.01);C23C16/00(2006.01);C23C14/00(2006.01);C23F4/00(2006.01);H01J37/32(2006.01);H05H1/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种上部电极，其在等离子体处理装置的处理室内，与载置被处理基板的载置台对向配置，用于在与所述载置台之间产生处理气体的等离子体，其特征在于，具有：形成有用于向所述载置台上的被处理基板喷出所述处理气体的多个喷出口的电极板；和在内部具有使传热介质流通用的传热介质流路，配置在所述电极板的上部，调节所述电极板的温度的多个温度调节体。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||