发明名称 CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 IE28481(L) 申请公布日期 1965.06.17
申请号 IE19670001223 申请日期 1964.10.28
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人
分类号 (IPC1-7):C23C15/00 主分类号 (IPC1-7):C23C15/00
代理机构 代理人
主权项
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