| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к механизмам вращения и перемещения тигля в установках для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чохральского. Задача полезной модели - упрощение конструкции, за счет максимального уменьшения количества составляющих элементов, повышение надежности работы устройства, за счет применения прецизионных шариковинтовых пар и современных серводвигателей, обеспечивающих высокоточное программированное перемещение и вращение тигля, упрощения кинематической схемы и симметричного приложения рабочих усилий, а следовательно уменьшения перекосов и разбалансировки. Полезная модель позволяет уменьшить размеры устройства и упростить его обслуживание. Технический результат достигается тем, что устройство для вращения и перемещения тигля в установках для выращивания монокристаллов, размещенное между поддоном установки и плитой, содержащее косозубый редуктор-каретку, установленный на поддоне шток, с закрепленным на нем тиглем с расплавом, центральное колесо и шестерни, приводы вращения и перемещения тигля, снабжено установленными симметрично оси штока двумя прецизионными шариковинтовыми парами, закрепленными одним концом на поддоне установки, другим закреплены на плите, при этом гайки шариковинтовых пар жестко соединены с шестернями редуктора-каретки, на корпусе которого сверху и снизу смонтированы приводы вращения и перемещения тигля, включающие в себя серводвигатели и червячные </p>
<p>редукторы, причем серводвигатель привода вращения тигля через червячный редуктор имеет возможность передавать вращение на шток, а серводвигатель привода перемещения тигля через червячный редуктор имеет возможность передавать вращение колесу редуктора-каретки, связанному с шестернями.</p> |
