发明名称 半导体激光器装置
摘要 半导体激光器装置,在至少一个激光器芯片的光出射面上,形成了反射率大于等于83%的电介质多层膜,电介质多层膜包含由氧化钽(Ta<SUB>2</SUB>O<SUB>5</SUB>)构成的电介质薄膜、以及由氧化铝(Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)、氧化硅(Si)等电介质氧化物构成的其它电介质薄膜。氧化钽的光吸收系数小于硅(Si)膜,由于伴随着发光的热稳定性比氧化钛(TiO<SUB>2</SUB>)膜优秀,因此能够大幅改善COD恶化。
申请公布号 CN1292522C 申请公布日期 2006.12.27
申请号 CN200410034700.9 申请日期 2004.04.23
申请人 三菱电机株式会社 发明人 国次恭宏;松岡裕益;中川康幸;西口晴美
分类号 H01S5/028(2006.01) 主分类号 H01S5/028(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种半导体激光器装置,在激光器芯片的至少一个光出射面上形成有反射率大于等于83%的电介质多层膜,其特征在于:设激光器芯片的振荡波长为λ,电介质多层膜包含多层交替设置的由氧化钽构成的电介质薄膜,其中,多层由氧化钽构成的电介质薄膜层以光学长度换算的总厚度为3λ/4以上。
地址 日本东京