基板检查装置及其参数设定方法和参数设定装置

摘要

本发明提供可自动生成为在图像中确定相邻的2个部分之间的边界而使用的参数的技术。分别针对训练图像、对颜色采集区域设定多个图案，该颜色采集区域由用于采集第一部分的颜色的第一区域和用于采集第二部分的颜色的第二区域构成，关于颜色采集区域各自的图案，将第一区域内的各像素的颜色作为对象点、将第二区域内的各像素的颜色作为排除点，分别映射到色彩空间中，关于颜色采集区域各自的图案，计算色彩空间中的对象点分布和排除点分布的分离度，选择分离度为最大的颜色采集区域的图案，求出分割色彩空间的颜色范围，使得所选择出的图案中的对象点的数量和排除点的数量之差最大，将所求出的颜色范围设定为在基板检查处理中使用的颜色条件。

主权项

1.一种基板检查装置的参数设定方法，自动生成基板检查处理中所使用的参数，该基板检查处理为，为了在以不同的入射角对基板上的安装部件照射多种颜色的光、对其反射光进行拍摄而得到的图像中，确定基板上的第一部分和与第一部分相邻的第二部分之间的边界，从所述图像中提取满足规定倾向于在所述第一部分中出现的颜色的预定的颜色条件的区域，对所提取出的区域所具有的特征量与预定的判断条件进行比较，由此确定所述边界，在该方法中，包括：取得对部件进行拍摄而得到的多个训练图像的步骤；分别针对所述训练图像、对颜色采集区域设定多个图案，该颜色采集区域由用于采集所述第一部分的颜色的第一区域和用于采集所述第二部分的颜色的第二区域构成的步骤；关于所述颜色采集区域各自的图案，将第一区域内的各像素的颜色作为对象点、将第二区域内的各像素的颜色作为排除点，分别映射到色彩空间中的步骤；关于所述颜色采集区域各自的图案，计算所述色彩空间中的对象点分布和排除点分布的分离度的步骤；选择所述分离度为最大的颜色采集区域的图案的步骤；求出分割所述色彩空间的颜色范围，使得所述选择出的图案中的对象点的数量和排除点的数量之差最大的步骤；以及将所求出的所述颜色范围设定为在所述基板检查处理中使用的颜色条件的步骤。