发明名称 Method of treatment for molecular gluing and ungluing of two structures
摘要
申请公布号 EP0898307(B1) 申请公布日期 2006.12.27
申请号 EP19980402073 申请日期 1998.08.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MALEVILLE, CHRISTOPHE;ASPAR, BERNARD
分类号 H01L21/265;H01L21/68;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/603;H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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