Method for the integration of multi-structure micro-systems,申请号PL20050375716-传众专利搜索

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发明名称	Method for the integration of multi-structure micro-systems
摘要
申请公布号	PL375716(A1)	申请公布日期	2006.12.27
申请号	PL20050375716	申请日期	2005.06.15
申请人	INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ	发明人	GRABIEC PIOTR;JANUS PAWEL;DOMANSKI KRZYSZTOF;MILCZAREK WALDEMAR
分类号	H01L27/00	主分类号	H01L27/00
代理机构		代理人
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