形成光学图像的方法、本方法用的衍射部件、实行所述方法的设备

摘要

通过若干子照射在抗蚀剂层(5)上形成光学图像，在每个子照射中，光阀阵列(21-25)和对应的衍射单元阵列(91-95)用以按照子图像在抗蚀剂层上形成光点图案(111-115)。在各子照射之间，所述抗蚀剂层相对于所述阵列移动。利用具有至少两个振幅电平和至少三个相位等级的衍射单元获得了明亮的边缘清晰的光点。

主权项

1.一种在抗蚀剂层内形成光学图像的方法，所述方法包括以下步骤：-提供辐射源；-形成抗蚀剂层；-在所述辐射源和所述抗蚀剂层之间设置可逐一控制的光阀的一个二维阵列；-在所述光阀阵列和所述抗蚀剂层之间设置衍射透镜的一个二维阵列，使得每个衍射透镜对应于一个不同的光阀；-通过顺序的子照射，依次照射所述抗蚀剂层的不同部分，每个子照射包括以下步骤：接通光阀选择；接通所述辐射源；断开所述光阀和所述辐射源；以及使所述抗蚀剂层和上述两个阵列彼此相对移动，使得要照射的下一个抗蚀剂层部分与上述两个阵列对齐；其特征在于：使用具有至少两个振幅电平和至少三个相位等级的相同的衍射单元形式的衍射透镜。