多模干涉分束器及其制备装置和方法

摘要

本发明公开了一种多模干涉(MMI)分束器及其制备装置和方法。所述的MMI分束器包括透明电介质材料样品和在其体内形成的三维多模干涉光波导。所述的制备装置包括：用于产生激光束的激光装置；用于调节激光束能量和脉宽的调节装置；用于控制激光曝光的快门装置；用于激光束整形和滤波的滤波装置；用于聚焦激光束的聚焦装置；用于装载和移动样品的工作平台；用于检测激光束写入状态的同步监控装置；用于根据探测装置反馈的信息控制快门装置和移动平台的控制装置。所述的制备方法是采用低数值孔径的聚焦物镜将超短激光聚焦到透明电介质材料体内成丝，一次成型制备MMI分束器，包括如下步骤：产生激光脉冲；整形和滤波步骤；聚焦步骤；定位步骤；写入步骤。

主权项

1、一种多模干涉分束器，其特征在于，包括透明的电介质材料样品和在其体内形成的三维多模干涉光波导。