带膜部件的光掩模及膜部件

摘要

本发明提供可以解决在伴随着光掩模的大尺寸化而要求膜部件大尺寸化时所产生的问题、并实现了大尺寸的带膜部件的光掩模。所述带膜部件的光掩模中，安装在光掩模(4)表面上的膜部件(1)的膜(3)由具有透光性的刚性材料构成，所述膜(3)的尺寸为表面积大于等于4000cm²。

主权项

1、带膜部件的光掩模，其具有光掩模和膜部件，所述光掩模具有非主要区域和形成了复制图案的主要区域，所述膜部件包括外框以及被该外框支撑且覆盖所述外框内侧的膜，通过将该膜部件的外框安装在所述光掩模表面的非主要区域，使至少所述光掩模的主要区域被所述膜部件的膜覆盖，其特征在于，所述膜由具有透光性的刚性材料构成，所述膜的尺寸为表面积大于等于4000cm2。