发明名称 半透膜及新的含氟聚合物
摘要 本发明提供作为半透膜材料等的对短波长光(振荡波长193nm的ArF准分子激光,振荡波长157nm的F<SUB>2</SUB>准分子激光)具有高透明性和耐久性的有用的含氟聚合物。本发明还提供半透膜,该半透膜的被用于半透膜的膜及/或粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成。单元(1)是含有氟原子、形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子构成、形成该主链的碳原子的1个或1个以上是形成环基的碳原子、且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子的单元。例如,上式(A1)表示的单元,式中,n为1或2,R<SUP>F1</SUP>为-F或-CF<SUB>3</SUB>,R<SUP>F2</SUP>为-F或碳原子数1~5的全氟烷基。
申请公布号 CN1886442A 申请公布日期 2006.12.27
申请号 CN200480035239.7 申请日期 2004.12.02
申请人 旭硝子株式会社 发明人 松仓郁生;山本弘贤;石桥雄一郎;冈田伸治;代田直子
分类号 C08G67/00(2006.01);G03F1/14(2006.01);C09J173/00(2006.01);C09J7/02(2006.01) 主分类号 C08G67/00(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 沙永生
主权项 1.半透膜,它是半透膜的膜通过粘合剂与框体粘接而形成的曝光处理用半透膜,其特征在于,被用于半透膜的膜及/或该粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成,单元(1)是含有与碳原子结合的氟原子的单元,该单元中的形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子形成,形成该主链的1个或1个以上的碳原子为形成环基的碳原子,且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子。
地址 日本东京