发明名称 |
半透膜及新的含氟聚合物 |
摘要 |
本发明提供作为半透膜材料等的对短波长光(振荡波长193nm的ArF准分子激光,振荡波长157nm的F<SUB>2</SUB>准分子激光)具有高透明性和耐久性的有用的含氟聚合物。本发明还提供半透膜,该半透膜的被用于半透膜的膜及/或粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成。单元(1)是含有氟原子、形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子构成、形成该主链的碳原子的1个或1个以上是形成环基的碳原子、且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子的单元。例如,上式(A1)表示的单元,式中,n为1或2,R<SUP>F1</SUP>为-F或-CF<SUB>3</SUB>,R<SUP>F2</SUP>为-F或碳原子数1~5的全氟烷基。 |
申请公布号 |
CN1886442A |
申请公布日期 |
2006.12.27 |
申请号 |
CN200480035239.7 |
申请日期 |
2004.12.02 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
松仓郁生;山本弘贤;石桥雄一郎;冈田伸治;代田直子 |
分类号 |
C08G67/00(2006.01);G03F1/14(2006.01);C09J173/00(2006.01);C09J7/02(2006.01) |
主分类号 |
C08G67/00(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
沙永生 |
主权项 |
1.半透膜,它是半透膜的膜通过粘合剂与框体粘接而形成的曝光处理用半透膜,其特征在于,被用于半透膜的膜及/或该粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成,单元(1)是含有与碳原子结合的氟原子的单元,该单元中的形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子形成,形成该主链的1个或1个以上的碳原子为形成环基的碳原子,且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子。 |
地址 |
日本东京 |