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发明名称 CLEANING OF MULTI-LAYER MIRRORS
摘要
申请公布号 EP1735665(A2) 申请公布日期 2006.12.27
申请号 EP20050732803 申请日期 2005.04.11
申请人 THE BOC GROUP PLC 发明人 GRANT, ROBERT BRUCE;LAMBERT, RICHARD MICHAEL
分类号 G03F7/20;B08B7/00;G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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