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发明名称
MEMS ELEMENT AND METHOD OF PRODUCING THE SAME, AND DIFFRACTION TYPE MEMS ELEMENT
摘要
申请公布号
EP1602624(A4)
申请公布日期
2006.12.27
申请号
EP20040708917
申请日期
2004.02.06
申请人
SONY CORPORATION
发明人
NANIWADA, KOJI
分类号
B81B3/00;B81C1/00;G02B6/34;G02B26/08
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
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